Adv.Electron.Mater.:揭示原子薄半导体接触电阻的不同分量成果介绍实现良好的电学接触是实现基于原子薄2D半导体器件的主要挑战之一。一些研究已经研究了这一障碍,但目前缺乏对接触电阻(Rc)的普遍理解和降低接触电阻的基本方法,有鉴于此,近日,以色列理工学院EilamYalon等通过实验检验了经典Rc传输线模型对2D材料接触的描述,并提出了一种基于附加横向电阻分量的修正方法,即结电阻(Rjun)。

计算机辅助设计模拟也被用于研究费米能级钉扎和非钉扎接触中的Rc。本研究发现,Rjun是原子薄半导体器件中Rc的主要分量,也是导致大部分背栅偏置和温度依赖性的原因。本文的实验结果有助于理解在最小化Rjun的背景下最先进接触工程的潜在物理机制。图文导读图1.传输线模型参数及接触端测量结构。图2.MoS2晶体管的电学特性,TLM和接触端电阻分析。

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